SJT 31081-1994 PG3000型图形发生器完好要求和检查评定方法
|
ID： |
248940FB712C4FAFB54C72D0056343F2 |
|
文件大小(MB)： |
0.23 |
|
页数： |
2 |
|
文件格式： |
|
|
日期： |
2024-7-28 |
|
购买： |
文本摘录（文本识别可能有误，但文件阅览显示及打印正常，pdf文件可进行文字搜索定位）：
中华人民共和国电子行业标准,PG3000型图形发生器完好要求和检查 SJ/T 31081-94,评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 PG 3000型图形发生器的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于PG 3000型图形发生器,2完好要求,2.1 主要技术指标,2.1- 1主要技术指标完好要求见下表,检测项目,允 差mm,检测器具和方法,出厂标准完好标准,工作台重复精度100mm ±0- 0015 ±0. 0017 利用美国GCA公司提供的,测试数据做版检查,用测试,带TesT(SD)进行图形测,试,制成掩模版上图形,燃,后在高倍显微镜下,观察エ,作台重复精度,工作台定位,精度,X、Y工作台垂直度指,标,工作台定位精度,100,mm,X向士。. 0005 ± 〇, 0006,Y向±0. 00025 ± 〇. 0003,X、Y工作台运动垂直度,<2 <2,2-1- 2 光栏精度 0. 004.0. 25mm 为＜士。. 75廿m,2-1-3光栏转角精度为全程W6,,2-2操作系统,2. 2-1各操作变速手柄,开关按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,2.2- 2制动、限位装置齐全,灵敏可靠,2.3传 动系统,2. 3-1伺服工作台机械传动平稳可靠,2- 3-2机械精度间隙、磨损量、平整度、平稳度符合要求。丝杆、导轨润滑良好,2.4光学系统,2.4-1各光学零部件的位置精度正确可靠。光栅及光学镜头无尘、无油污、无霉斑,确保视场,清晰,2.4-2光学系统零、部件齐全、完好,2.4 -3光学调焦装置灵活可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,sj/T 31081-94,2.5 电气系统,2.5「电气控制箱内布线整齐,各指示灯齐全完整,指示正确可靠。各种线路标志明显,联接,可靠,2-5-2伺服工作台控制部分,?符合使用要求,2. 5,3步距控制及曝光系统正确可靠,2.5.4 电气线路板接触可靠。其它各种接触器,继电器灵敏可靠,2.5.5 各光电传威器工作正常,无误动作,2.5.6 各电流表,电压表指示正确,误差在允许范围内,且有有效期内校验合格证,2- 6气路系统,2 . 6.1各气缸、电磁阀、节流阀安装位置正确,工作可靠,2 .6.2气貉及真空管道、接头、阀门元件之间联结应牢固、密封,无漏气现象,2.7 环境条件系统,工作间超净度为100级,控温精度为23+rCe,2.8 安全防护,自动保护报警装置齐全可靠,安全接地,2.9 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检査源定方法,S.I检查方法,3.1.1主要お术指彷， 检测方法见表例.对2.1. 2、2. L3项用GCA提供测试带来捡测,工其余号二"釆,す场主观方法逬行检査,3.2评定方法,3- 2.1主要项目有2J. I.2.1. 3项,其余均为次要项目,3.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设芻,3.2-3完好设备的维界保养,应达到优等设备标准,z:菽淮S老子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中る华晶电子集团公司组织起草,率标准王要起荐久」沈永周、顾军建、吴正伟,2……
……